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ヘキサフルオロブタジエン

分子式:C4F6
分子量:162
CAS番號:685-63-2
 

事業 索引
外観 無色、濁っていない
ヘキサフルオロブタジエン含有量 ≥98%
水分 <50PPm(V)
N2 <80PPm(V)
O2 <20PPm(V)
CO2 <20PPm(V)


特性:可燃性、毒性、無色、無味のボトル入りの液化圧縮ガス、吸入に有害、空気と混合すると、濃度が7%に達すると、すぐに燃焼や爆発の危険があります。
用途:半導體のプラズマエッチング、優れた乾燥性エッチングガス。フッ素含有ゴム、合成フッ素含有エラストマー、電気特性に優れた樹脂
保管:涼しく換気の良い場所に保管し、容器をしっかりと閉めてください。元の容器に保管されている溫度は50°Cを超えません。直射日光を避けてください。酸化剤と混合して保管しないように注意してください。花火に近づかないでください。
輸送:圧縮ガスおよび液化ガスの有毒ガス基準に準拠
パッキング:10Lまたは47Lスチールシリンダー圧縮パッケージ、または顧客の要件に応じたパッケージ

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